Са развојем кинеске индустрије полупроводника, развој кључних компоненти за процесну опрему постао је критично ограничење за развој опреме. Како позив на локализацију домаће полупроводничке технологије постаје све јачи, све више технологија уских грла у индустрији полупроводника биће превазиђено. На основу вишегодишњег искуства у индустрији полупроводника, наша компанија је развила серво мотор са шупљим вратилом-велике-брзине за адсорбовање плочица у опреми за облагање полупроводника, развијање и чишћење. Овај мотор се одликује великим убрзањем, широким распоном брзина и великом брзином одзива, а купци у индустрији су га навелико хвалили.
Примене серво мотора са -осовином:
Опрема за експозицију и развијање (превлачење, развијање): Главна опрема за процесе фотолитографије, контролу премаза, експозиције и развијања.
Опрема за чишћење, премазивање, развијање и уклањање филма.
Погодно за физичко испирање, чишћење честица и процесе прскања.
Спецификације производа са шупљим вратилом и области примене:
750В/1000В – 5000, 6000 о/мин
Области примене (врхунски-модели):
Полупроводничка опрема од 8 инча и 12 инча.
Процеси као што су премазивање, развијање, чишћење и гравирање.
Максимално убрзање може достићи 50000 Р/С² тренутног убрзања.
Специјални дизајн краја вратила обезбеђује најнижи коефицијент оптерећења на крају вратила.
